一、 开机说明
冷启动步骤
1、启动UPS
打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。
2、启动循环水冷机。
按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2~3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。
若有报警，检查水位，按Res键。
3、启动空气压缩机。.
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“1”状态。检查输出气压为5~ 6bar.
4、确认主机后两个电源开关状态为On.
此时，主机前面板上红灯亮。
5、按下黄键。.
说明:前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码: .
7、启动SmartSEM软件。
用户名: system
密码:
8、检查真空值，等待真空就绪。
△注意:当System Vacuum<2X 10'mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve),并启动离子泵。
当Gun Vacuum=<5 X 10^mBar时，可启动灯丝。若长期停机，需做烘烤。
9、开启灯丝。
10、开Tv,检查样品台。
11、装样品(见第二部分)。
12、加高压(EHT)。
13、观察样品。
待机状态
1、关闭高压(EHT)。 .
2、关闭SmartSEM软件。
注意:分两步，先关用户界面User Interface,后关后台程序EM Server.
3、关Windows。
4、必要时，关能谱、EBSD.
5、按下黄键
此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。
待机状态启动
1、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码:
2、启动SmartSEM软件。
用户名: system
密码:
3、检查真空值。
4、换样或加高压观察样品。
关机步骤
1、关高压(EHT)和灯丝。
2、关SmartSEM软件。
注意:分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server.
3、关Windows.
4、关能谱、EBSD.
5、按下黄键，等待~10秒钟。
等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
6、按下红键。
7、关循环水冷机。
8、必要时，关氮气总阀门。
9、必要时，关UPS.
10、必要时，关墙上空气开关。
烘烤步骤
1、确认高压(EHT)和灯 丝关闭。
2、拨出高压电线.
先松开四颗螺丝，拔出高压头。
3、打开监控软件Gun Monitor.
设置监控Gun Vacuum和System Vacuum参数，时间间隔1s。
4、开始烘烤
菜单栏Tools→go to panel→bakeout,打开Bakeout界面，设定加热时间8~20h，冷却时间设为2h，开始。
5、烘烤完成
结束后检查枪真空值，-般小于1X 10°mBar.关闭Gun Monitor。插入高压头，锁紧。
