场发射昌平扫描电镜分热场和冷场,共性是分辨率高。热场的束流大些,适合进行分析,但维护成

　　本相对较高,维护要求高。冷场做表面形貌观测是适合的,相对而言维护成本低些,维护要求不算高。

　　冷场发射电子枪

　　优点:单色性好,分辨率高

　　缺点:电子枪束流不稳定,束流小,不适合做能谱分析,每天要做一次Flash

　　热场发射电子枪

　　优点:电子束稳定,束流大

　　缺点:与冷场相比除了单色性和分辨率略差点外,其它找不出缺点。

　　热场在总发射电流( Total emission current )更大探针电流( Maximum probe current )电子束噪声( Beam noise 人发射电流漂移( Emission current drift)工作倥( Operating vacuum )阴极还原( Cathode regeneration )对外部影响的敏感性( Sensitivity to external influence )等方面都具有一等的优势。 这些参数直接影响电镜的性能。在阴极半径( Cathode radius入有效电子源半径( Effective source radius )发射电流密度( Emission current density )标准亮度( Normalised brightness )等方面，冷场发射略胜-筹。 这几个参数总起来说就是冷场发射阴极的发射面积较小、能量集中,便于将电子束聚焦于-个很小的点,以提高分辨率。但是在现代的电镜技术条件下,热场发射电镜通过采取各种有效措施,也能够将电子束汇聚于-个理想的点,达到冷场发射电镜的分辨率水平。

　　电子枪发射的电流强度很小,微安级别和纳安级别,为防止气体电离造成的大电流击缟压电源,都需要高真空环境。电子枪阴极都属于耗材系列。